Applicazioni / carbonio pirolitico e carburi ceramici depositati da fase vapore (cvd): misura dello spessore

I processi di deposizione chimica da fase vapore (CVD) per rivestimenti in carbonio pirolitico e/o carburi ceramici conferiscono a substrati in grafite, compositi, metallici o ceramici caratteristiche tecniche di prestazioni molto elevate, grazie alla natura dei rivestimenti ma anche alla loro microstruttura specifica.

Il controllo dello spessore depositato è quindi indispensabile per queste applicazioni, soprattutto perché nel processo CVD le variazioni di spessore possono essere molto significative all'interno di uno stesso ciclo, di una stessa camera o perfino tra diverse zone di uno stesso pezzo.

  • Misura senza contatto e non distruttiva
  • Misura possibile subito all'uscita dal forno
  • Campo di spessore molto ampio (da 0,1 a 600 µm a seconda dell'applicazione)
  • Elevata accuratezza e ripetibilità
  • Risoluzione spaziale molto precisa
  • Tempo di misura ridotto, di circa 1 secondo
  • Sensore compatto e leggero, facilmente integrabile per il controllo automatizzato di pezzi complessi o di grandi dimensioni
  • Più materiali misurabili con uno stesso sistema
Struttura CVD - Kugel – Creative Commons

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