Enovasense

熱分解炭素やセラミック炭化物の化学気相成長（CVD）コーティングは、皮膜の性質と特有の微細構造により、黒鉛、複合材料、金属、セラミックの基材に非常に高い技術特性を付与します。

そのため、これらの用途では成膜厚さの管理が不可欠です。特にCVDプロセスでは、同一サイクル内、同一チャンバー内、さらには同一部品の部位間でも膜厚が大きくばらつくことがあります。

• 非接触・非破壊の測定
• 炉から取り出した直後でも測定可能
• 非常に広い膜厚範囲（用途に応じて0.1～600 µm）
• 高い精度と再現性
• 高い空間分解能
• 約1秒の短い測定時間
• 小型軽量のセンサーで、複雑形状や大型部品の自動検査に容易に組込み可能
• 1つのシステムで複数の材料を測定可能