Enovasense

열분해 탄소 및/또는 세라믹 탄화물 코팅을 위한 화학 기상 증착(CVD) 공정은 코팅 자체의 특성과 고유한 미세 구조 덕분에 흑연, 복합재, 금속, 세라믹 기재에 매우 높은 수준의 기술적 특성을 부여합니다.

따라서 이러한 용도에서는 증착 두께 관리가 필수적입니다. 특히 CVD 공정에서는 동일한 사이클, 동일한 챔버, 심지어 동일한 부품의 부위별로 두께 편차가 매우 클 수 있습니다.

• 비접촉·비파괴 측정
• 노에서 꺼낸 직후에도 측정 가능
• 매우 넓은 두께 범위(용도에 따라 0.1~600 µm)
• 높은 정확도와 반복성
• 정밀한 공간 해상도
• 약 1초의 짧은 측정 시간
• 소형·경량 센서로 복잡하거나 대형인 부품의 자동 검사에 쉽게 통합 가능
• 하나의 시스템으로 여러 재료 측정 가능