应用程序 / 热解碳与 cvd 碳化物涂层厚度

采用化学气相沉积(CVD)工艺制备的热解碳和/或陶瓷碳化物涂层,凭借涂层本身的性质及其特有的微观结构,可赋予石墨、复合材料、金属及陶瓷基材极高的技术性能。

因此,对于此类应用,控制沉积厚度至关重要,尤其是在 CVD 工艺中,同一周期、同一腔室,甚至同一零件不同区域之间的厚度差异都可能非常大。

  • 非接触、无损测量
  • 出炉后即可测量
  • 厚度范围非常宽(视应用而定,0.1 至 600 µm)
  • 精度和重复性高
  • 空间分辨率高
  • 测量时间短,约 1 秒
  • 传感器紧凑轻巧,易于集成,可对复杂或大尺寸零件进行自动化检测
  • 同一系统可测量多种材料
CVD 结构 - Kugel – Creative Commons

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