Aplikacje / węgiel pirolityczny i węgliki ceramiczne osadzane z fazy gazowej (cvd): pomiar grubości

Procesy chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD) powłok z węgla pirolitycznego i/lub węglików ceramicznych nadają podłożom grafitowym, kompozytowym, metalowym i ceramicznym bardzo wysokie parametry techniczne – dzięki naturze powłok, ale także ich specyficznej mikrostrukturze.

Kontrola grubości osadzonej warstwy jest więc w tych zastosowaniach niezbędna, zwłaszcza że w procesie CVD różnice grubości mogą być bardzo duże w obrębie jednego cyklu, jednej komory, a nawet między różnymi strefami tego samego detalu.

  • Pomiar bezkontaktowy i nieniszczący
  • Pomiar możliwy bezpośrednio po wyjęciu z pieca
  • Bardzo szeroki zakres grubości (od 0,1 do 600 µm w zależności od zastosowania)
  • Wysoka dokładność i powtarzalność
  • Bardzo dokładna rozdzielczość przestrzenna
  • Krótki czas pomiaru, około 1 sekundy
  • Kompaktowy i lekki czujnik, łatwy do integracji w zautomatyzowanej kontroli detali złożonych lub wielkogabarytowych
  • Wiele mierzalnych materiałów w jednym systemie
Struktura CVD - Kugel – Creative Commons

Dokumenty

Typ Nazwa Pobierz
Application Application note English Français